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장비명: 8inch CMP System(8인치 웨이퍼 기계적 평탄화 시스템)

보유대학: 성균관대학교

모델: SSL-610IFN-20S

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장비명: ESEM(주사전자현미경)

보유대학: 성균관대학교

모델: XL 30 ESEM-FEG

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장비명: 7inch sputter1(증착챔버)

보유대학: 성균관대학교

모델: -

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장비명: 측정용 현미경

보유대학: 성균관대학교

모델: STM6

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장비명: 8인치 마스크 얼라이너

보유대학: 성균관대학교

모델: MA8BA8GEN4

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장비명: Spin Coater(회전도포기)

보유대학: 성균관대학교

모델: SP-8

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장비명: Spin Rinse Dryer(회전건조기)

보유대학: 성균관대학교

모델: 주문제작

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장비명: Wet Station(습식 세정 장비)

보유대학: 성균관대학교

모델: -

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