Silicon Micro-machinable Etcher(DRIE, 실리콘 식각장비)
| 보유대학 | 성균관대학교 |
|---|---|
| 제작사 | SPP |
| 모델 | MUC-21 |
- 장비설명 : 반도체 식각장비란 실리콘 웨이퍼(Wafer: 기판)에 전류가 흐를 수 있도록 패턴을 새겨
미세회로를 형성하는 식각공정에서 사용되는 장비를 뜻하며, 처리속도가 빠르고
각 웨이퍼의 회로를 균일하게 공정 할수록 경쟁력을 갖는다.
| 보유대학 | 성균관대학교 |
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| 제작사 | SPP |
| 모델 | MUC-21 |
- 장비설명 : 반도체 식각장비란 실리콘 웨이퍼(Wafer: 기판)에 전류가 흐를 수 있도록 패턴을 새겨
미세회로를 형성하는 식각공정에서 사용되는 장비를 뜻하며, 처리속도가 빠르고
각 웨이퍼의 회로를 균일하게 공정 할수록 경쟁력을 갖는다.