12inch Magnetron Sputtering System(12인치 마그네트론 스퍼터링 시스템)
| 보유대학 | 성균관대학교 |
|---|---|
| 제작사 | 엘에이티 |
| 모델 | LEO12-8 |
- 장비설명 : 12인치 마그네트론 스퍼터링 시스템은 교내외 공동 활용자의
다양한 박막 증착 수요의 대응과 반도체 공정의 배선공정, RDL 공정 및
MEMS 공정의 기능성 박막 공정, 다층박막 공정 등으로 활용
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