7inch sputter1(증착챔버)
| 보유대학 | 성균관대학교 |
|---|---|
| 제작사 | 에스엔텍 |
| 모델 | - |
- 구성 및 성능 :
* Processing Chamber
- Material : SUS 304L
- Inner Dimension : 제작사에서 결정
- CF2.75" Gauge & Spare : 5 ea
- Material : SUS 304L
- Inner Dimension : 제작사에서 결정
- CF2.75" Gauge & Spare : 5 ea