Spin Coater(회전도포기)
| 보유대학 | 성균관대학교 |
|---|---|
| 제작사 | 프로윈 |
| 모델 | SP-8 |
- 장비설명 : 스핀 코팅은 코팅할 물질의 용액이나 액체 물질을 기질 위에 떨어뜨리고
고속으로 회전시켜 얇게 퍼지게 하는 코팅 방법이다. MIDAS Spin Coater System은
다양한 회전수 설정을 통해 코팅되는 박막의 두께를 조절할 수 있고 크기가 작은 기재 부터
7 inch wafer 사이즈 크기의 기재까지 코팅이 가능하다. 주로 전자 제품 소자의 제조에 많이 사용된다.